氮氧化硅

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氮氧化硅氮氧化硅

氮氧化硅

SiOxNy

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Silicon Oxynitride

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silicon oxynitride SiOxNy

...角色,特别是综合了SiO2膜和Si3N4膜的优点的氮氧化硅(silicon oxynitride SiOxNy)薄膜具有优异的光学性能,力学性能,化学稳 …

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