刻蚀
- na.【地】sculpture; corrosion
- 网络Etch; Etching; corrasion
 刻蚀
刻蚀刻蚀
Etch
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                Etching
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                RIE
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                plasma etching
是离子刻蚀(plasma etching),这种方法就是将物质高度电离并保持一定的能量,然后将这种物质刻蚀在wafer上,从而形成 …
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                DRIE
...干法工艺 干法深刻蚀工艺 深反应刻蚀: •高深宽比刻蚀(DRIE)依赖于高密度等离子源以及刻 蚀、钝化工艺交替来实现。
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